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自动喷胶机设备使用性能要求1.可用于对不同形状尺寸的基片进行喷胶.zui大喷胶尺寸要求达到8寸。2.可对不同粘度的胶进行喷涂,供胶分辨率在15uL以内。3.可对大深宽比结构进行侧壁涂胶,得到厚度均匀的胶膜。4.喷胶均匀性要求:单片表面≤±1